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展會(huì )直擊|昊志機電亮相第六屆深圳國際半導體展(SEMI-e)

2024-06-26

2024年6月26日 ——第六屆深圳國際半導體展覽會(huì )(簡(jiǎn)稱(chēng)SEMI-e)在深圳會(huì )展中心盛大啟幕。本屆展會(huì )的展出面積達60,000平方米,吸引了超過(guò)800家展商參展,預計將有逾60,000名行業(yè)專(zhuān)家與觀(guān)眾蒞臨現場(chǎng),共同探索在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、新能源汽車(chē)等領(lǐng)域中半導體技術(shù)的嶄新應用與未來(lái)趨勢。

昊志機電在6號館的6H18展位上,展示了一系列精心打造的產(chǎn)品:劃片機主軸、高精度磨外圓電主軸、氣浮超精密晶圓研磨電主軸、晶圓超精密檢測空氣靜壓轉臺以及伺服驅動(dòng)器和直驅電機等。旨在為客戶(hù)提供半導體等領(lǐng)域核心功能部件解決方案。

圖片



PART.01
匠心產(chǎn)品介紹



01

剛度與承載力優(yōu)于競品達14.3%

劃片機主軸系列





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01
高剛度


主軸采用創(chuàng )新型結構設計,剛度與承載力較市場(chǎng)同類(lèi)產(chǎn)品顯著(zhù)提升14.3%,能夠滿(mǎn)足硅晶圓、封裝基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。


02
高精度


采用高精度接口設計,錐面跳動(dòng)≤0.5μm,刀座裝刀面的徑向跳動(dòng)和軸向竄動(dòng)均≤1μm,主軸連續加工時(shí)伸長(cháng)量波動(dòng)≤0.3μm,達到國際先進(jìn)水平,確保高加工精度和高良品率。

03
高可靠性


優(yōu)化主軸防水、防塵性能,電機防護等級IP67,采用優(yōu)質(zhì)碳刷材質(zhì),連續工作長(cháng)達6525小時(shí),增強耐用性,減少維護成本和停機時(shí)間,延長(cháng)設備壽命,提升投資回報率。

04
高性?xún)r(jià)比


與專(zhuān)業(yè)變頻器廠(chǎng)家合作,為電主軸匹配最佳驅動(dòng)參數,溫升降低16.7%,整合資源后,我們能夠為客戶(hù)節約30%的采購成本,提供了具有高性?xún)r(jià)比的解決方案。



02

高精度、高剛性、超強密封 晶棒加工利器

高精度磨外圓電主軸




圖片

01
高精度


內、外砂輪座外圓與端面全跳動(dòng)≤5um,內砂輪座重復定位精度≤1um,主軸振動(dòng)≤0.5mm/s,加工出來(lái)尺寸公差控制在0.002mm以?xún)?,具有無(wú)與倫比的高精度的特性。

02
多功能


主軸配備兩個(gè)可控制伸縮的砂輪座,實(shí)現內、外砂輪工況切換。

03
高剛性、大承載


外軸采用短跨距設計,配置大尺寸、大球徑軸承;內軸則采用大軸徑軸系設計,并配置多層軸承支撐;主軸配置額定功率17.6kW、額定扭矩48Nm、最高轉速4000rpm的永磁電機,使主軸具有高剛性、低振動(dòng)、高承載能力的特點(diǎn)。

04
超強前端密封


前端密封設計采用迷宮密封、氣幕密封與骨架油封相結合的方式,確保在0.2MPa的氣封條件下,能完全阻止異物進(jìn)入主軸,主軸的防護等級達到IP65。




03

低振動(dòng)、高剛性、高承載 半導體超精加工

高精度晶圓倒角機主軸





圖片

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